1980年東京大学大学院理学系研究科博士号（理学博士）を取得。理化学研究所主任研究員、東京大学教授、自然科学研究機構分子科学研究所長等を経て、自然科学研究機構長、科学技術振興機構研究開発戦略センター長を歴任。日本学士院会員、東京大学名誉教授、理化学研究所名誉研究員、日本化学会名誉会員、日本物理学会名誉会員、日本真空表面学会功労会員、日本工学アカデミー理事副会長、Honorary Fellow Royal Society of Chemistry、American Physical Society Fellow、Fellow of the International Science Councilを務める。

1996年猿橋賞、2008年文部科学大臣表彰、2017年紫綬褒章、2021年日本学士院賞を受賞・受章。2021年文化功労者に選出。