1983年慶應義塾大学卒業後、日立製作所中央研究所に入社。超伝導デバイスなどに関する基礎研究に従事。その後、研究開発のプロジェクトリーダーとして、モバイルディスプレイの事業化、環境エネルギーエレクトロニクスの推進、特にパワーデバイスの研究開発に取り組む。1991年7月、慶應義塾大学にて博士号（工学）を取得。

1997年から3年間、米国カリフォルニア州立大学バークレー校で客員研究員を務める。2010年より東京工業大学教授に就任。ダイヤモンド半導体を活用したパワーデバイスの研究、量子センサの研究に従事。2018年より文科省、光・量子飛躍フラッグシッププログラム（Q-LEAP）のフラグシップで研究代表者を務める。特に、異分野融合、産官学連携、国際的な研究者との共同研究、博士人財の育成に注力。

2022年3月より東京工業大学学長特別補佐を兼務、2024年10月より東京科学大学の理事・副学長（研究・産学官連携担当）に就任。総合科学技術・イノベーション会議議員（兼任2022年より現在）。国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構量子ビーム科学部門研究統括（2019年より2024年3月）。応用物理学会代表理事・会長（2020年より2022年）。応用物理学会フェロー。IEEEシニアメンバー。

令和5年度科学技術分野の文部科学大臣表彰科学技術賞（研究部門）受賞。